ULVAC爱发科DA-121D隔膜型干泵技术解析

一、概述

DA-121D是日本ULVAC（爱发科）株式会社旗下DA系列隔膜型干式真空泵的标准型号。该泵采用橡胶膜片往复运动的干式泵送机制，气体接触区域不使用油，消除了油污染风险。DA-121D是一款两级排气系统的隔膜型干泵，以价格低廉、销售量大的标准化定位面向市场。

DA-121D系列还提供DA-121DC、DA-121DD、DA-121DE、DA-121DF等多个子型号，以满足不同电源电压及认证标准的需求。

二、工作原理

DA-121D属于隔膜型（膜片型）干式真空泵，其核心工作原理如下：

泵体内部通过橡胶薄膜（隔膜）的往复运动来抽气排气。隔膜在电机的驱动下进行周期性往复运动，通过改变泵腔容积实现气体的吸入和排出。泵体结构采用两级排气系统——两个泵腔串联连接，气体依次经过两级压缩后排出，相比单级排气系统可获得更低的极限压力（即更好的真空度）。

由于隔膜与泵体之间形成密闭的气体通道，而驱动机构与气室隔离，气体接触区域无油，实现了干式、洁净的真空环境。

三、核心技术特点

1. 干式、无油排气

气体接触区域不使用任何真空油，属于干式真空泵。消除了油蒸气对真空环境的污染风险，适用于对洁净度有严格要求的应用场景。

2. 两级排气系统

采用两级串联排气结构，相比单级排气系统具有更低的极限压力（即更好的真空度）。

3. 内置自动复位型热保护器

配备内置自动复位型热保护器等安全设计，当泵体温度异常升高时可自动切断电源，有效保护电机和泵体免受损坏。

4. 大气压下可运作

DA-121D支持从大气压直接启动和运行，无需预抽真空，操作极为简便。

5. 内置平衡端口

DA-121D内置平衡端口（Balance Port） ，可实现从真空状态下的平稳重启。这一设计有效避免了泵在真空状态下停机后重新启动时的卡滞问题。

6. 结构简单，维护方便

DA-121D结构设计简洁，日常维护仅需定期清洁过滤器和更换隔膜、阀门等易损件。由于无需更换真空油，维护成本大幅降低。

7. 丰富的电压与认证选择

DA-121D系列提供多种电源电压配置及国际安全认证选项：

*TUV认证：经国际第三方机构评估，符合欧洲标准的高品质产品。
*cTUVus认证：经国际第三方机构评估，符合加拿大和美国标准的高品质产品。

四、详细技术规格

五、典型应用领域

DA-121D凭借其无油洁净、两级真空、结构简单、维护方便等技术优势，广泛应用于以下场景：

• 真空吸盘与晶圆处理：半导体制造中的晶圆吸附、搬运与定位装置

• 真空镊子与医疗器械：精密操作中的真空吸附工具及医疗设备

• 印刷设备：印刷机械中的纸张吸附与输送系统

• 自动包装设备：包装生产线中的物料吸附与搬运

• 光学仪器：光学镜片加工与检测中的真空固定

• 半导体工业：各类半导体制造辅助工艺中的真空应用

六、使用注意事项

使用DA-121D时需注意以下事项：

1. 严禁吸入腐蚀性气体、有机溶剂、液体及可冷凝气体（如水蒸气） ，这些物质会损坏隔膜和泵体内部结构

2. 确保灰尘和颗粒物不会进入泵内，建议在吸气口安装过滤器

3. 仅供室内使用，请勿安装于室外或可能遭受雨水、水淹的场所

七、总结

ULVAC DA-121D隔膜型干泵是爱发科DA系列中的标准型代表产品。其核心价值体现在三个方面：其一，基于橡胶膜片往复运动的两级干式泵送机制，实现了无油的洁净真空，从根本上消除了油污染对工艺和设备的影响；其二，内置自动复位型热保护器与平衡端口的双重安全设计，既保障了设备运行安全，又实现了真空状态下的平稳重启；其三，结构简单、维护方便，加之大气压下可直接运行的特性，大幅降低了用户的安装、操作与维护成本。

作为一款获得市场广泛认可的标准型干式真空泵，DA-121D在半导体制造、精密仪器、医疗器械、自动包装等对洁净真空有要求的工业领域，均能提供清洁、可靠、经济的真空解决方案。其DA-121DC/DD/DE/DF等多个子型号配置，更为不同电源电压及认证标准的用户提供了灵活的选择空间。