ULVAC爱发科CR60B多级罗茨型干泵技术解析

一、概述

CR60B是日本ULVAC（爱发科）株式会社旗下CR系列多级罗茨型干式真空泵的核心型号之一。该泵属于CR系列Ver.B版本，是一款获得国际标准（CE、cTUVus）认证的空冷式罗茨型干泵。CR60B采用无油的干式泵送机制，消除了油污染风险，非常适合对纯度和洁净度有严苛要求的工业及科研应用场景。

CR系列覆盖CR16B、CR30B、CR60B、CR300B等多个型号，其中CR60B提供CR60B-S和CR60B-T两种子型号配置，以满足不同用户的电源与接口需求。

二、工作原理

CR60B属于多级罗茨型干泵，其核心工作原理如下：

泵体（壳体）内部装有两个三叶转子，通过一对齿轮以相同转速沿相反方向同步旋转。转子之间、转子与壳体之间互不接触，而是保持极小的间隙。转子采用多级结构，气体在各级之间逐级输送和压缩，最终从排气口排出至大气压。由于转子与壳体无接触运转，泵头内部无需使用真空油，实现了干式排气。

从大气压到极限压力，CR60B均可连续工作。

三、核心技术特点

1. 干式、无油排气

排气室内不使用真空油，转子和气缸无接触运转，可长时间稳定运行并显著延长使用寿命。由于泵送过程干燥，消除了油蒸气对真空环境的污染风险。

2. 空冷设计，无需冷却水和氮气

CR60B采用空气冷却方式，无需外接冷却水和氮气，大幅降低了运行成本和配套设施要求。

3. DC密封电机——节能、气密、轻量化

CR60B配备了DC密封电机，实现了低功耗、高气密性和轻量化的综合优势。

4. 气镇机构，可抽除水蒸气

CR60B配备气镇（Gas Ballast）机构（选配件），可通过引入适量气体有效排出水蒸气。在真空干燥等含水蒸气的应用中，必须使用气镇机构。

5. 国际安全认证

CR60B符合CE和cTUVus国际安全标准，可在全球主要市场安全合规使用。

四、详细技术规格

备注：
*1 极限压力为无气镇气体时的测量值。
*4 最大水蒸气处理量为使用气镇时的数值，水蒸气排气时请务必使用气镇机构。

五、选配件与附件

CR60B提供丰富的选配件与附件选项：

六、典型应用领域

CR60B凭借其无油洁净真空、空冷节能、水蒸气处理能力强等技术优势，广泛应用于以下场景：

• 洁净气体真空排气：空气、惰性气体等洁净气体的抽真空

• 真空干燥：真空干燥设备中的水蒸气排出（需使用气镇）

• 真空镀膜设备：溅射、蒸发等物理气相沉积（PVD）设备的真空系统

• 半导体与电子器件制造：刻蚀设备、去胶设备、离子清洗设备等的真空排气系统

• 真空热处理：烧结炉、渗碳炉等真空热处理炉的排气系统

七、总结

ULVAC CR60B多级罗茨型干泵是爱发科CR系列中的中坚力量。其核心价值体现在三个方面：其一，基于三叶转子多级罗茨结构的非接触式干式设计，实现了无油的洁净真空，从根本上消除了油污染对工艺的影响；其二，空冷散热与DC密封电机的组合，使该泵在无需冷却水和氮气的前提下仍能长期稳定运行，显著降低了用户的综合使用成本；其三，气镇机构的配备使其在真空干燥等含水蒸气场景中同样表现出色。

作为一款获得CE、cTUVus国际标准认证的成熟工业产品，CR60B在半导体制造、真空镀膜、真空干燥及科研开发等领域均能提供清洁、稳定、可靠的真空解决方案。其CR60B-S与CR60B-T两种子型号配置，更为不同用户需求提供了灵活的选择空间