爱发科LR1800多级罗茨型干泵：大流量洁净真空的工业级解决方案

一、产品概述

在平板显示（FPD）、半导体制造、真空镀膜以及各类大型真空工艺设备中，快速获得洁净、稳定的低中真空环境是保障生产节拍与产品质量的核心环节。日本ULVAC（爱发科）公司推出的LR系列多级罗茨型干泵，正是为满足大流量、高负荷工业真空需求而设计的先进干式真空泵。其中，LR1800作为该系列的大流量机型，凭借其的抽速性能、低温均热化技术和的抗腐蚀能力，成为大型PVD（物理气相沉积）设备、装载/卸载室（Load Lock Chamber）及各类工业真空系统的理想配套动力源。

LR1800是多级罗茨型干泵，采用多级罗茨转子串联结构，实现全无油干式压缩。泵体内部通过独特的低温区域均热化技术，使温度分布均匀，有效防止工艺气体凝结。设备可在大气压至低真空的宽广范围内稳定运行，尤其适用于需要反复在大气与真空之间切换、对排气速度要求高的装载/卸载室场景。

二、核心技术原理

多级罗茨干式压缩结构

LR1800的核心技术在于其多级罗茨（Multi-Stage Roots） 压缩设计。泵体内部装有成对的三叶罗茨转子，通过精密齿轮以相同转速、相反方向同步旋转。转子之间、转子与泵壳之间始终保持微小间隙而非直接接触，依靠这一间隙实现气体的无接触捕获、逐级输送与压缩。

气体依次通过多个压缩级，逐级增压至大气压后直接排入大气。这一设计使LR1800能够从大气压状态下直接启动并工作，无需依赖前级泵，大幅简化了真空系统的配置。

无油干式运行与密封电机

LR1800的排气室内不使用真空油或任何密封液体。齿轮和轴承虽需润滑油润滑，但通过精密的密封结构——屏蔽电动机（Canned Motor） 设计，有效防止了润滑油向泵壳内部的渗漏。这一设计带来了两大核心优势：一是排气过程无油雾污染，确保被抽真空环境的高度洁净；二是避免了油品老化、乳化等问题对泵性能的影响，大幅延长了维护周期。

低温区域均热化技术

LR系列最独特的技术特征在于其低温区域均热化设计。与HR/UR系列专注于高温均热（适用于CVD、刻蚀等硬工艺）不同，LR系列通过独特的铝合金导热设计，使泵体低温区域（通常控制在100℃以下）保持极为均匀的温度分布。这一设计有效防止了水蒸气和工艺气体在泵内低温区域的凝结，同时确保泵体各部件热膨胀一致，保障了转子间隙的长期稳定性。

三、核心技术参数

LR1800是LR系列中的大流量型号，其主要技术规格如下：

LR1800通常以干泵+机械增压泵（MBP）的机组形式交付，其中干泵本体为LR180，机械增压泵为PRC-018A。

四、核心产品优势

1. 超大抽速，满足高吞吐量需求

LR1800在50Hz下最大排气速度达1,701 m³/h（28,350 L/min），60Hz下可达1,784 m³/h（29,700 L/min）。这一惊人的抽速能力使其能够在极短时间内将大型真空腔体从大气压抽至低真空状态，显著缩短装载/卸载室的循环时间，直接提升生产线的整体吞吐量。

2. 低温均热化，适配多种工艺

LR系列有的低温区域均热化技术，使泵体温度分布极为均匀。这一设计使其特别适用于PVD工艺（溅射、蒸镀等）以及装载/卸载室的快速排气。同时，低温运行也降低了对泵体材料的热应力，延长了设备寿命。

3. 优异的耐腐蚀性

LR1800的主要零部件均采用表面硬度高、耐腐蚀性优异的特殊表面处理。这一处理有效降低了腐蚀性气体排气时对泵内部件的腐蚀，使泵在面对含腐蚀性成分的工艺气体时仍能保持长期稳定运行。

4. 瞬停对策（1000ms以内）

LR1800具备的瞬停（瞬间停电）对策功能，可承受长达1000ms以内的电源瞬断。在电力不稳定的工业环境中，这一设计有效避免了因短暂电压波动导致的设备停机和生产中断，大幅提升了生产线的连续运行可靠性。

5. 氦气密封与高安全性

通过搭载屏蔽电动机（Canned Motor） ，LR1800形成了密闭的结构。这一设计不仅确保了优异的氦气密封性能，更从根本上杜绝了气体泄漏的风险，保障了操作人员的安全和工艺环境的纯净。

6. 智能通信与集中监控

LR1800配备通信功能，可实时读取与泵运转状态相关的数据、警告及报警履历。通过使用专用软件进行计算机通信，用户可实现多台泵的集中监控和管理，便于设备维护与故障预警。

7. ECO-SHOCK节能选项

LR系列在与ULVAC有的ECO-SHOCK节能附件组合使用时，最多可节省约80%的电力消耗。这一选项对于长期连续运行的大功率真空泵而言，可显著降低运营成本，具有可观的经济效益。

8. CE标准认证（可选）

LR1800可选配符合CE标准的规格，满足欧洲及国际市场的设备安全要求。

五、应用领域

LR1800凭借其超大抽速、低温均热化、优异的耐腐蚀性和智能监控能力，在以下领域得到了广泛应用：

• 成膜设备（PVD工艺） ：溅射装置、蒸镀装置等真空镀膜设备的真空系统配套

• 装载/卸载室（Load Lock Chamber） ：大幅缩短备料下料室的排气时间，提升生产线吞吐量

• 辅助排气泵：作为涡轮分子泵、机械增压泵的前级或辅助排气泵使用

• 惰性气体排气：用于抽除空气、氮气、氩气等惰性气体

• 热处理工艺：真空热处理炉的排气系统

• 半导体与FPD制造：各类需要快速、洁净低中真空的工艺环节

六、系列对比与选型建议

LR系列提供多种规格选择，覆盖从小流量到大流量的广泛应用需求：

LR1800在LR系列中属于大流量机型，其极限压力0.67 Pa也优于LR60~LR421的5.0 Pa。用户应根据实际真空腔体容积、目标抽速要求、工艺气体特性（是否含腐蚀性成分）以及对节能（ECO-SHOCK）的需求，选择最合适的型号配置。

七、总结

爱发科LR1800多级罗茨型干泵以1,701 m³/h（50Hz）的超大排气速度、0.67 Pa的极限压力、545 kg的稳健机身和全面的工业级设计，在大型真空系统中展现了的洁净真空获取能力。其多级罗茨无油干式压缩结构、独特的低温区域均热化技术、1000ms瞬停对策、优异的耐腐蚀性以及智能通信功能，使其成为PVD工艺、装载/卸载室快速排气以及各类大型工业真空应用的理想选择。无论是在追求高产能的平板显示产线，还是在要求高可靠性的半导体制造环节，LR1800都能以稳定的性能、低维护成本和智能化的运行管理，为用户提供持续可靠的真空动力保障。