爱发科CR60B多级罗茨型干泵：洁净真空的可靠动力源

一、产品概述

在平板显示（FPD）、半导体制造、电子器件生产以及各类真空工艺应用中，获得洁净、稳定且无油的真空环境是保证产品质量与良率的关键前提。日本ULVAC（爱发科）公司推出的CR系列多级罗茨型干泵，正是为满足这一需求而设计的先进真空获取设备。其中，CR60B作为该系列的中坚型号，凭借其风冷设计、无油运行和的稳定性，成为工业与科研领域低中真空应用的理想选择。

CR60B隶属于爱发科CR系列Ver.B版本，是一款获得国际标准（CE、cTUVus）认证的空冷式罗茨型干泵。该泵采用多级罗茨转子结构，泵头内部不使用真空油，转子和气缸之间以非接触方式运行，从而实现长时间稳定运转和超长使用寿命。无论是半导体前道工艺、真空镀膜，还是实验室真空干燥，CR60B都能提供可靠、清洁的真空动力。

二、核心技术原理

多级罗茨结构

CR60B的核心技术在于其多级罗茨（Multi-Stage Roots） 设计。泵体内部装有成对的三叶罗茨转子，它们通过精密齿轮以相同转速、相反方向同步旋转。转子之间、转子与泵壳之间始终保持微小间隙而非直接接触，依靠这一间隙实现气体的捕获、输送与压缩。

与传统单级罗茨泵不同，CR60B采用多级压缩结构——气体依次通过多个压缩级，逐级增压至大气压后直接排入大气。这一设计使得该泵能够从大气压状态下直接启动并工作，无需依赖前级泵，大幅简化了真空系统的配置。

无油干式运行

CR60B的排气室内不使用真空油或任何密封液体。齿轮和轴承虽需润滑油润滑，但通过精密的密封结构设计，有效防止了润滑油向泵壳内部的渗漏。这一设计带来了两大核心优势：一是排气过程无油雾污染，确保被抽真空环境的高度洁净；二是避免了油品老化、乳化等问题对泵性能的影响，大幅延长了维护周期。

三、核心技术参数

CR60B系列提供两种配置型号——CR60B-S 与 CR60B-T。两者的核心性能参数一致，区别主要体现在电源配置和部分接口规格上。主要技术规格如下：

（极限压力为气镇阀关闭时测得的值）

四、核心产品优势

1. 全风冷设计，无需辅助设施

CR60B采用空气冷却方式，无需冷却水和氮气。这一设计显著降低了设备对厂房基础设施的依赖——无需铺设冷却水管路，无需供应高纯氮气，大幅简化了安装部署流程，同时降低了运行成本。对于空间有限或辅助设施的实验室和生产现场，这一优势尤为突出。

2. 无油洁净排气

由于泵头内部不使用真空油，CR60B实现了真正的干式无油排气。排气过程中不会产生油雾，不会对被抽真空腔体造成碳氢化合物污染，这对于半导体、FPD、光学镀膜等对洁净度要求高的工艺领域至关重要。

3. 长寿命与高可靠性

转子和气缸采用非接触式运行设计，无机械磨损部件。配合精密的齿轮传动和高效的散热设计，CR60B可实现长时间连续稳定运转，使用寿命远超传统油封式真空泵。维护工作主要集中在齿轮箱润滑油更换和进气过滤器清理，大幅降低了用户的维护负担和总拥有成本（TCO）。

4. DC密封电机，节能轻量

CR60B搭载了DC密封电机，具备节能、高气密性和轻量化的特点。电机额定功率仅为0.72 kW，在同类排气速度的干泵中能耗处于较低水平，有助于降低长期运行的电费支出。

5. 气镇机构，可处理水蒸气

CR60B可选配气镇（Gas Ballast）机构。通过向泵的压缩腔引入少量干燥气体，可有效防止水蒸气在泵内冷凝，从而实现对含水蒸气工艺气体的稳定抽除。最大耐水蒸气处理量可达300 g/h，使其在真空干燥等含水蒸气的应用中表现出色。

6. 低噪音运行

CR60B可配置专用消音器（RS-01+KitA），有效降低排气噪音，改善工作环境。对于实验室或对噪音敏感的生产环境，这一配置尤为重要。

7. 国际安全认证

CR60B已获得CE和cTUVus国际安全标准认证，可在全球范围内合规使用，满足不同国家和地区的设备安全要求。

五、应用领域

CR60B凭借其洁净无油、风冷高效、稳定可靠的特性，在以下领域得到了广泛应用：

• 半导体与FPD制造：用于溅射、蒸镀、刻蚀等真空工艺的粗抽与维持排气

• 真空镀膜：光学镀膜、装饰镀膜等PVD工艺的真空环境维持

• 真空干燥设备：食品、药品、电子元件的真空干燥，需配合气镇机构使用

• 科研实验室：各类真空实验系统中的洁净真空获取

• 惰性气体处理：空气、氮气、氩气等洁净气体的真空排气

六、选型指南

CR60B提供两种配置选择：

用户可根据实际应用场景的电源条件（单相/三相）、对节能特性的要求以及对水蒸气处理的需求，选择适合的型号和选配件配置。

七、总结

爱发科CR60B多级罗茨型干泵以55 m³/h的最大排气速度、≤3.0 Pa的极限压力、0.72 kW的低功耗和48 kg的轻量化设计，在紧凑的机身内实现了出色的真空获取性能。其全风冷无油设计、非接触式转子结构、可选配的气镇机构以及国际安全认证，使其成为半导体、FPD、真空镀膜和真空干燥等领域中洁净真空应用的可靠选择。无论是在追求高良率的精密制造产线，还是在要求高洁净度的研发实验室，CR60B都能以低运行成本、长维护周期和稳定的排气性能，为用户提供持续可靠的真空动力保障。