ULVAC爱发科隔膜型干泵DAU系列DAU-20技术文章

一、产品概述ULVAC爱发科DAU-20是DAU系列高真空型隔膜式干式真空泵（亦称膜片型干泵）中的基础型号，该系列以高真空性能与清洁排气能力为设计核心，面向需要无油洁净真空环境的中低真空应用场景。隔膜式干泵通过橡胶隔膜的往复运动实现排气，其结构简单、维护方便的特点广受用户认可。DAU-20采用了三级排气系统设计（三阶段排气方式），通过将多个泵头按三段式串联配管结构布局，在保持隔膜泵结构紧凑优势的同时实现了比普通隔膜泵更优异的极限压力性能。该泵气体接触区域不使用润滑油，是一种真...

查看更多

ULVAC爱发科多级罗茨型干泵LR系列LR1800技术文章

一、产品概述ULVAC爱发科LR1800是LR系列中面向大抽速应用的多级罗茨型干式真空泵，该系列产品线涵盖LR60、LR90、LR180、LR300、LR600、LR1200、LR1800及LR3601等多款型号，抽速范围覆盖62m³/h至3200m³/h，可满足从中小型工艺腔室到大型批量生产设备的多样化真空需求。LR系列以ULVAC有的泵体均热化技术为核心设计理念——低温区域泵体均热化使该泵在PVD工艺之外尤其适用于装载/卸载腔（LoadLockChamber）的快速排气场...

查看更多

ULVAC爱发科多级罗茨型干泵GR系列GR180A技术文章

一、产品概述ULVAC爱发科GR180A是一款面向一般工业应用的多级罗茨型干式真空泵，属于GR系列三款型号中抽速最大的代表机型。干泵GR系列以ULVAC多年积累的LR/HR系列为基础设计而成，以简洁干净的结构实现高可靠性，被广泛应用于真空镀膜、真空干燥、真空气体置换以及半导体制造前道工序等场景。GR180A最为突出的技术定位在于其高负荷运行能力——可在大气压与真空之间反复抽气，同时能够在高压范围内持续运行。这一特性使其特别适用于需要高吞吐量的装载/卸载锁腔（Load/Unlo...

查看更多

ULVAC爱发科多级罗茨型干泵CR系列CR300B技术解析

一、产品概述ULVAC爱发科CR300B是一款多级罗茨型干式真空泵，为CR系列Ver.B中的大抽速型号，在国际标准认证、运行经济性和结构可靠性等方面均有全面考量。该泵获得CE、cTUVus国际标准认证，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析仪器以及一般工业设备等众多领域。CR300B的设计定位介于中高真空需求场景，在实现300m³/h大抽速的同时，维持了优异的极限真空性能和无油洁净运行能力。作为空冷式罗茨型干泵，该型号面向需要高吞吐率、低运行成本和洁净真空环境的各类工业与科研应...

查看更多

ULVAC爱发科多级罗茨型干泵RDA系列RDA-281HA技术解析

一、产品概述ULVAC爱发科RDA-281HA是一款多级罗茨型干式真空泵，属于RDA系列中的经济型型号。该泵采用六级排气系统设计并内置恒温器，在无需工作液的前提下实现了与油回转泵同等的性能水平。RDA-281HA的应用领域覆盖分析仪器、气体回收系统、镀膜设备、涡轮分子泵的前级泵、氦质谱检漏仪以及半导体制造工艺等众多场景。RDA-281HA与同系列RDA-281H的主要区别在于认证标准与电源适配能力——RDA-281HA获得cTUVus认证，可适配单相100～115V/200～...

查看更多