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产品简介
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2026-06-032025-07-172025-08-212025-06-05| 品牌 | 其他品牌 | 输送介质 | 油泵 |
|---|---|---|---|
| 泵轴位置 | 边立式 | 叶轮数目 | 多级 |
| 应用领域 | 环保,化工,生物产业,能源,综合 |
原厂代理EBABA荏原理化干式真空泵EV-M型
原厂代理EBABA荏原理化干式真空泵EV-M型
EV-M 型可应用于在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重 制程工艺。
同时兼顾了对重制程工艺和节能的需求，实现了停机风险的减少和 运行成本的降低。
●产品系列丰富，可应对多种工艺、抽气速率需求；
●兼顾高负荷与低功耗；
●可应对腐蚀性气体（标配耐腐蚀材料）。
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 抽气速度 | 80,000 L/min (约 4,800 m³/h) |
| 极限压力 | 0.5 Pa |
| 极限压力时功率 | 4.6 kW |
| 电源 | 200V 机型：三相/200V/50Hz，三相/200-220V/60Hz 400V 机型：三相/380-400V/50Hz，三相/380-440V/60Hz |
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 吸气口连接 | ISO200 |
| 排气口连接 | NW40 |
| 冷却水流量 | 5 ~ 8 L/min |
| 冷却水温度 | 最高 30 ℃ |
| N₂ 流量 | 228 Pa·m³/s |
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 外形尺寸 (W×D×H) | 630 × 1,100 × 1,070 mm |
| 重量 | 约 820 kg |
EV-M805SF 属于 EV-M 系列，专为半导体、液晶及太阳能电池制造中产生大量反应副产物的高负荷工艺设计。其特点包括：采用荏原耐热技术、标配耐腐蚀材料、无油运行，并在不同电源频率（50/60Hz）下保持一致的抽气性能。该型号可满足 CE 标志、SEMI-S2 及 NRTL 要求
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