ULVAC爱发科多级罗茨型干泵LR90技术解析

一、产品概述

ULVAC LR90是日本爱发科（ULVAC）株式会社推出的一款多级罗茨型干式真空泵，属于LR系列中的主力型号之一。多级罗茨干式真空泵是一种在真空室内不使用油或液体的机械真空泵，在FPD（平板显示）、电子和半导体等行业中，能够提供更清洁的真空环境，同时显著提高生产效率和可维护性。

LR90采用ULVAC独特的多级罗茨转子结构设计，通过低温区域的泵体均热化技术，能够在PVD（物理气相沉积）工艺中实现高效稳定的排气性能。该泵尤其适用于备料下料室（Load Lock Chamber）的快速排气场景——在那些为了提高产能而需要缩短排气时间的关键工序中，LR90发挥着不可替代的作用。

二、核心技术特点

1. 低温区域均热化技术

LR系列通过独特的泵体设计，在低温范围内实现均匀的温度分布。这一技术使得泵体在运行过程中温度场高度一致，有效避免了因局部温差导致的性能波动和部件热应力损伤。通过低温区域的泵体均热化，LR90在PVD工艺之外，尤其适于备料下料室的快速排气需求。此外，LR系列通过有效利用压缩热，在CVD和蚀刻等硬工艺中也实现了高耐久性。

2. 氦气密封与屏蔽电动机

LR90搭载了屏蔽电动机（Canned Motor），形成全密闭结构，具有出色的氦气抽取能力。密封电机设计不仅确保了安全性，还大幅降低了维护难度。这种结构特别适用于对泄漏率有严格要求的半导体和FPD制造工艺。

3. 瞬停对策

LR90采取了的瞬停对策，能够承受最长1000毫秒（1秒）的电源瞬时中断。这一特性在电力供应不稳定的工业环境中尤为重要，可有效避免因瞬时停电导致的工艺中断和设备故障。

4. 出色的耐腐蚀性

LR90的主要零部件均经过特殊表面处理，具备高表面硬度和优异的耐腐蚀性能。当用于排出腐蚀性气体时，这种处理能够显著降低泵内部的腐蚀和磨损，延长设备使用寿命。

5. 智能通信功能

LR90内置通信功能，可实时读取与泵运转状态相关的数据、警告及报警履历。配合专用软件进行计算机通信，可实现多台泵的集中监控和管理，为智能化工厂和自动化生产提供了有力支持。

6. 节能选项（ECO-SHOCK）

LR90可与ULVAC的ECO-SHOCK附件结合使用，在轻量化运行过程中可将功耗降低约80%。ECO-SHOCK是一个划时代的附件，安装于现有干泵上即可大幅降低功耗，尤其在吸入压力1000Pa以下时效果。

三、详细技术参数

四、应用场景

LR90多级罗茨型干泵凭借其洁净真空、快速排气和优异的耐腐蚀性能，在多个制造领域展现出广泛的应用价值：

• 成膜装置：溅射装置、蒸镀装置等PVD工艺的主排气泵

• 备料下料室：缩短Load Lock Chamber的排气时间，提高产线吞吐量

• 辅助排气：作为涡轮分子泵、机械增压泵的前级辅助排气泵

• 惰性气体工艺：CVD、干法蚀刻等工艺的真空排气

• 材料制备：Si单晶拉制等过程中的排气

五、总结

ULVAC LR90多级罗茨型干泵以62 m³/h（50Hz）的排气速度、5.0 Pa的到达压力为核心性能指标，融合低温区域均热化技术、氦气密封屏蔽电机、1000msec瞬停对策、优异的耐腐蚀性及智能通信功能于一体。其245 kg的紧凑设计、冷却与吹扫系统，以及对CE标准的兼容性，使其成为半导体、FPD及真空镀膜等制造领域清洁真空解决方案的理想选择。配合ECO-SHOCK附件更可实现最高80%的节能效果，在提升生产效率的同时有效降低运营成本。