面向真空工艺的MIYUKI GAR系列闸阀：从低噪音运行到全闭流量可控技术

一、产品概述

GAR-C100B是日本MIYUKI（美幸辉）GAR系列控制闸阀中的代表性型号。GAR系列是一款以优良排气特性为核心卖点的电动控制闸阀产品。与同品牌的BAR系列控制蝶阀相比，GAR系列采用带制动器的马达驱动，通过电机直接驱动阀杆实现阀门的开启、关闭及中间开度控制，适用于对真空度要求更高、口径更大的工业管道系统。

GAR-C100B作为该系列的典型产品，广泛应用于半导体制造、真空镀膜、光伏产业及各类科研真空系统，为高真空环境下的气体流量控制提供了可靠的技术保障。

二、核心技术特点

2.1 优异的排气特性

GAR系列闸阀在设计上充分考虑了真空系统的排气需求，具有优良的排气特性。闸阀结构本身相比蝶阀具有更低的流阻和更高的电导，能够有效减少排气过程中的压力损失，提升系统抽真空效率。

2.2 停电状态下的全封闭密封

GAR系列显著的技术优势之一，是即使在停电的情况下也可以实现全封闭密封。这一功能得益于其带制动器的马达设计——当电力中断时，制动器自动锁止，阀门保持在关闭位置，确保系统密封性不受影响。这对于需要长期保持真空环境或涉及危险气体处理的工艺系统而言，是至关重要的安全保障。

2.3 全闭流量控制能力

GAR系列阀门具备流量可控至全闭的结构。相比普通闸阀只能在全开或全闭两个位置工作，GAR系列通过精密的电机驱动系统，可以在全开至全闭的整个行程范围内对流量进行精确调节，满足复杂工艺对气体流量精细控制的需求。

2.4 极低噪音运行

得益于优化的机械结构和电机直驱设计，GAR系列在开启、关闭及控制操作中噪音极低。这一特点使其特别适用于对工作环境噪音有严格要求的洁净车间和实验室场所。

2.5 低气体释放性

GAR系列阀体及内部组件采用不锈钢研磨材料，具有较低的气体释放性。在真空环境中，材料本身释放的气体分子会污染真空腔体，影响工艺质量。GAR系列的低释气特性确保了真空系统的纯净度，满足高制造领域对颗粒污染的严苛要求。

2.6 广泛的规格兼容性

GAR系列支持80A至400A的广泛口径范围，能够满足从小型实验设备到大型工业装置的不同需求。同时，产品提供多种法兰规格选项，包括JIS、NW（KF）及CF法兰等，便于与现有管道系统无缝集成。

三、详细技术规格

GAR-C100B及GAR系列的主要技术参数如下：

四、与BAR系列的功能对比

为帮助用户更好地理解GAR系列的定位，以下将其与同品牌的BAR系列控制蝶阀进行对比：

五、典型应用领域

基于上述技术特点，GAR-C100B及GAR系列控制闸阀广泛应用于以下领域：

• 半导体制造设备：高真空环境下的气体流量控制，停电密封保障工艺安全

• 真空镀膜设备：优良的排气特性确保快速达到工艺所需真空度

• 光伏产业：低释气特性满足高纯度工艺环境要求

• 科研真空系统：全行程流量控制为实验研究提供精确调节手段

• 化工与制药：危险气体管路的可靠切断与流量控制

六、系统集成与扩展

GAR系列闸阀可与MIYUKI的MS-VP控制器组合使用，构成开度指定型压力控制系统。通过模拟信号输入，阀门开度可实现线性可变的精确定位，适用于需要自动压力控制的复杂工艺场景。

七、选型注意事项

1. 安装姿势限制：GAR系列对安装姿势存在一定限制，选型及安装前建议咨询制造商确认具体要求。

2. 法兰规格选择：产品提供多种法兰规格，选型时需根据现场管道接口标准进行匹配。

3. 停电对策：标准产品在停电时通过制动器锁定阀门位置。如对停电后的阀门状态有特殊要求（如希望阀门自动打开或关闭），可咨询制造商定制停电对策产品。