ULVAC爱发科LR90多级罗茨型干泵：面向PVD与负载锁定室的高效真空解决方案

在半导体、平板显示及各类真空镀膜产业中，生产节拍与设备利用率直接决定了产能与效益。负载锁定室（Load Lock）的排气时间往往是制约整线效率的关键瓶颈。日本ULVAC（爱发科）推出的LR90多级罗茨型干泵，正是为解决这一痛点而设计——通过创新的低温均热化技术，在确保清洁无油真空的同时，显著缩短了负载锁定室与PVD工艺的排气时间，为制造提供了高效、可靠的真空获得方案。

一、产品定位：LR系列的中坚力量

LR90隶属于ULVAC的LR系列多级罗茨式干式真空泵。该系列专为负载锁定室（Load Lock）排气和物理气相沉积（PVD）工艺而设计。

与同系列其他型号相比，LR90在抽速与体积之间取得了良好平衡，是该系列中的主力型号：

LR90的112 m³/h (50Hz) / 126 m³/h (60Hz) 的最大抽速，使其足以应对中等规模的负载锁定室和PVD腔体的快速排气需求，是兼顾性能与成本的优选方案。

二、核心技术特点

LR90的技术优势源于其对特定工艺需求的深度优化与多项创新设计：

1. 低温区域均热化技术

LR系列的核心技术在于泵体低温区域的均热化。通过对泵体低温区进行均衡加热（典型＜100℃），有效防止了工艺气体在泵内冷壁上的凝结。这一设计不仅保证了泵在PVD工艺中的稳定运行，更使其尤其适用于需要缩短排气时间以提高产能的负载锁定室排气场景。

值得注意的是：与LR系列的低温均热化不同，ULVAC的HR/UR系列则采用高温均热技术，利用压缩热将泵体整体保持在高温状态，专为CVD和蚀刻等会产生升华性副产物的硬工艺而设计。

2. 出色的氦气密封与安全性

LR90搭载了屏蔽电动机（Canned Motor） ，形成了密闭的结构。这一设计不仅实现了优异的氦气密封性能，杜绝了工艺气体的泄漏，更从根本上提高了设备运行的安全性。

3. 瞬停对策与高可靠性

针对工厂电网可能出现的瞬间电压波动，LR90采取了1000毫秒以内的瞬停对策。这一设计确保了在短暂停电后泵能够安全、自动地恢复运行，最大限度地减少了意外停机对生产造成的影响。

4. 出色的耐腐蚀性

为应对PVD工艺中可能存在的腐蚀性气体，LR90的主要零部件均经过了表面硬度高、耐腐蚀性强的特殊表面处理。这有效降低了腐蚀性气体对泵内部的侵蚀，显著延长了泵在严苛工艺条件下的使用寿命。

5. 智能通信功能

LR90配备了的通信功能，可实时读取泵的运转状态数据、警告及报警履历。通过使用专用软件进行计算机通信，可实现集中监控，便于设备维护与故障预警。

三、详细技术规格

四、典型应用领域

LR90凭借其的抽速和针对性的低温均热设计，在以下场景中发挥着关键作用：

• 成膜装置：作为溅射装置、蒸镀装置等PVD设备的真空排气核心。

• 负载锁定室（Load Lock） ：缩短备料下料室的排气时间，是提升整线产能的关键。

• 辅助排气泵：作为涡轮分子泵、机械增压泵的前级或辅助泵，构建多级真空系统。

五、选型对比：LR系列与HR/UR系列

在ULVAC的多级罗茨干泵家族中，LR、HR、UR三个系列有着明确的定位分工：

结语

ULVAC爱发科LR90多级罗茨型干泵，凭借112 m³/h的有效抽速、创新的低温均热化技术以及针对负载锁定室和PVD工艺的深度优化，为半导体与平板显示制造领域提供了一套高效、清洁、可靠的真空获得方案。其无油运行消除了油污染风险，出色的耐腐蚀性与瞬停对策保障了长期稳定运行，而智能通信功能则赋能于 predictive maintenance。对于追求缩短排气节拍、提升产能的PVD和负载锁定室应用而言，LR90无疑是一个兼具性能与可靠性的理想之选。